低压等离子清洗机 产品型号 GDR-100L 设备简介 GDR系列低温等离子表面处理设备由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。高频发生器提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。 等离子处理的工艺： 表面激活Surface Activation 表面清洁Surface Cleaning 显微蚀刻Micro Etching 等离子接枝、聚合Plasma Polymerization 上述作用离子直接和处理物表面外层10 到1000A 厚度起作用，不影响材料其本身性能。 等离子处理的优点： 1.环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。 2.广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理； 3.温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。 4.功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能； 5.低成本：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。 6. 处理物几何形状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。 技术参数 ★设备外形尺寸:(不包括报警灯) 760(W)×850(D)×1750(H)mm ★不锈钢或合金铝真空仓体尺寸:(约100升) 450(W)×450(D)×510(H)mm ★仓体结构: 12层铝合金放电电极,阳极氧化处理 ★中频发生器: 频率40KHZ,功率0-2KW连续调节,自动阻抗匹配(可选择国产或进口13.56MHZ射频电源) ★控制系统: 有逻辑电路继电器控制和PLC电脑控制型,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 ★真空系统: 韩国优成真空泵 TRP-48 (14L/S) 真空专用电磁角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管）高精度真空计、规管 ★处理气体: 两路工艺气体配置，美国高精度浮子流量计或电子质量流量计、针阀、铜气体管